リチウムK発光計測のためのダイヤモンドライクカーボン膜を用いた高回折効率回折格子の設計

小池 雅人; 今園 孝志; 石野 雅彦; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 能登谷 智史*; et al.

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リチウムイオンが充・放電に伴い正・負極材に出入りした際の化学結合状態に関する情報は、K殻電子が励起された際、価電子帯電子の緩和過程で放出される22.8nm(54.3eV)のLi-K発光近傍を分光計測することで得ることができる。本研究では、放射光ビームラインや電子顕微鏡に搭載可能な回折格子分光器において、高感度Li-K発光スペクトル計測を実現するために、標準的な表面物質であるAu膜が積層された回折格子の上に通常の炭素(C)膜(密度: 2.2g/cm)、または、フィルタードアーク法で積層できる高密度ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜(Tetrahedral amorphous carbon、密度: 3.1g/cm)を付加し、回折効率の向上を目指した多層膜回折格子の設計を行った。